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液晶/半導体/その他電子部品生産ライン

SEEDA-AL

適用分野

硝酸/酢酸/燐酸の混酸組成を高精度にて経時的に測定し、エッチング反応に有効な遊離硝酸と酢酸濃度を、設定した一定の値に制御することで、エッチング加工の安定化と混酸の大幅な原単位向上を図ります。

濃度測定制御部

制御方式 CPU制御方式
測定方式 特殊中和滴定法
測定範囲 硝酸/0~20%
酢酸/0~40%
燐酸/0~80%
最短測定周期 15min/3成分測定
測定精度 硝酸/測定値±0.1%以下
酢酸/測定値±0.3%以下
燐酸/測定値±0.4%以下
制御対象数 最大3ライン制御可能
データ表示器 カラーLCD(濃度)
データ出力 4~20mA(3点)

薬液計量補給部

ポンプ制御方式 インバーター制御方式
計量ポンプ形式 ダイヤフラム型
計量ポンプ材質 PTFE樹脂
計量制御範囲 0~300ml/min
サンプル循環ポンプ形式 マグネットポンプ
サンプルポンプ材質 接液部/PTFE樹脂
計量ポンプ搭載数 2台
サンプル循環ポンプ搭載数 1台

試薬格納部

格納対象 測定試薬
格納方式 光監視

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