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液晶/半導体/その他電子部品生産ライン

SEEDA-ITO

適用分野

塩鉄系ITOエッチング液中の遊離塩酸と鉄濃度を測定して、エッチング液中の遊離塩酸と鉄の濃度を、設定した一定の値に自動制御することで、エッチング加工の安定化と液のライフを大幅に延ばすことを目的にした自動制御装置です。なお、蓚酸系、王水系エッチング液にも適用します。

王水系

SEEDA-ITO
濃度測定原理 中和滴定法測定方式
装置型式 SEEDA-ITO
測定成分名 塩酸/硝酸
測定範囲 塩酸/0~30.00wt%(変更可能)
硝酸/0~10.00wt%(変更可能)
測定精度 塩酸/測定値±0.20wt%以下
硝酸/測定値±0.10%以下
補給制御薬液 高濃度の塩酸/硝酸

塩鉄系

検出器 電位差検出器
装置型式 SEEDA-ITO
測定成分名 遊離塩酸/塩化第二鉄
測定範囲 遊離塩酸 0~30.00wt%(変更可能)
塩化第二鉄 0~50.00wt%(変更可能)
測定精度 遊離塩酸 測定値±0.05wt%以下
塩化第二鉄 測定値±0.20%以下
補給制御薬液 高濃度の塩酸

蓚酸系

SEEDA-ITO5
検出器 高感度電磁検出器
装置型式 SEEDA-ITO
測定範囲 0~5.00wt%(変更可能)
測定精度 3.40wt%±0.05wt%以下

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