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液晶/半導体/その他電子部品生産ライン

SEEDA-CE

適用分野

クロムエッチング液中の遊離硝酸濃度と4価セリウム濃度を置換滴定法と酸化還元滴定法で測定して、エッチング液中の硝酸と4価セリウム濃度を、設定した一定の値に制御するエッチング液濃度自動制御装置です。

濃度測定制御部

          
制御方式 CPU制御方式
測定方式 置換滴定法・酸化還元滴定法
測定範囲NHO3:0~30 wt%
HClO4:0~30 wt%
(NH4)2Ce(NO3)6:0~30 wt%
最短測定周期 12min/3成分測定
測定精度 NHO3:測定値±0.1wt%以下
HClO4:測定値±0.1wt%以下
(NH4)2Ce(NO3)6:測定値±0.1wt%以下
制御対象数 最大2ライン制御可能
データ表示器 カラーLCD(濃度推移を表示)
データ通信 メモリーカード記憶orRS232C通信

薬液計量補給部

SEEDA-CE
ポンプ制御方式 インバーター制御方式
計量ポンプ形式 ダイヤフラム型
計量ポンプ材質 接液部/PTFE樹脂
計量制御範囲 0~300ml/min
サンプル循環ポンプ形式 マグネットポンプ
サンプルポンプ材質 接液部/PTFE樹脂
計量ポンプ搭載数 2台
サンプル循環ポンプ搭載数 1台

試薬格納部

SEEDA-CE
格納対象 測定試薬

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