濃度測定装置、自動制御、診断制御装置など各種生産ライン装置の開発、提案

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SEEDA-STR

適用分野

有機系剥離液(MEA+DMSO混合液等)の濃度測定・制御装置です。装置は濃度測定部と疲労液排出と新液補給制御部並びに操作制御部で構成されています。濃度測定部は可視分光検出器と特殊検出器を搭載し、溶解レジスト濃度と水分濃度を連続的に測定します。

剥離液種類

有機系剥離液の組成 MEA-70％ DMSO-30％ H2O-0％ 水系有機剥離液の組成 MEA-20％ DMSO-30％ H2O-50％ GE系剥離液の組成 GE系剥離液30％ GE類70％ 検出器 可視分光検出器 特殊検出器 装置型式 SEEDA-STR 測定成分名 溶解レジスト 水分 測定範囲 溶解レジスト濃度 0.000～2.000Abs 水分濃度 0.0～50.0％ 測定精度 溶解レジスト濃度 測定値0.001Abs 水分濃度 測定値±0.40％以下 補給制御薬液 剥離液の新液 外形寸法 400W×530D×1500H 重量 約100kg