濃度測定装置、自動制御、診断制御装置など各種生産ライン装置の開発、提案
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液晶/半導体/その他電子部品生産ライン
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SEEDA-CE型
SEEDA-CE
適用分野
クロムエッチング液中の遊離硝酸濃度と4価セリウム濃度を置換滴定法と酸化還元滴定法で測定して、エッチング液中の硝酸と4価セリウム濃度を、設定した一定の値に制御するエッチング液濃度自動制御装置です。
濃度測定制御部
制御方式
CPU制御方式
測定方式
置換滴定法・酸化還元滴定法
測定範囲
NHO
3
:
0~30 wt%
HClO
4
:
0~30 wt%
(NH
4
)
2
Ce(NO
3
)
6
:
0~30 wt%
最短測定周期
12min/3成分測定
測定精度
NHO
3
:
測定値±0.1wt%以下
HClO
4
:
測定値±0.1wt%以下
(NH
4
)
2
Ce(NO
3
)
6
:
測定値±0.1wt%以下
制御対象数
最大2ライン制御可能
データ表示器
カラーLCD(濃度推移を表示)
データ通信
メモリーカード記憶orRS232C通信
薬液計量補給部
ポンプ制御方式
インバーター制御方式
計量ポンプ形式
ダイヤフラム型
計量ポンプ材質
接液部/PTFE樹脂
計量制御範囲
0~300ml/min
サンプル循環ポンプ形式
マグネットポンプ
サンプルポンプ材質
接液部/PTFE樹脂
計量ポンプ搭載数
2台
サンプル循環ポンプ搭載数
1台
試薬格納部
格納対象
測定試薬
装置プロセス
システムフローシート図
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