塩鉄系ITOエッチング液中の遊離塩酸と鉄濃度を測定して、エッチング液中の遊離塩酸と鉄の濃度を、設定した一定の値に自動制御することで、エッチング加工の安定化と液のライフを大幅に延ばすことを目的にした自動制御装置です。なお、蓚酸系、王水系エッチング液にも適用します。