濃度測定装置、自動制御、診断制御装置など各種生産ライン装置の開発、提案

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SEEDA-SI

適用分野

シリコンウエハーエッチング加工液の遊離硝酸・遊離酢酸及び遊離弗酸濃度、並びにエッチングで生成するヘキサフルオロ珪酸濃度を経時的に測定して、エッチング反応に有効な遊離硝酸と遊離弗酸並びに遊離酢酸濃度を、設定した一定の値に制御することで、エッチング加工の安定化とエッチング液の大幅な原単位向上を図ります。

濃度測定制御部

制御方式 CPU制御方式 測定方式 特殊中和滴定法 測定範囲 遊離硝酸／0～40％ 遊離酢酸／0～40％ 遊離弗酸／0～20％ 最短測定周期 15min/3成分測定 測定精度 硝酸/測定値±0.2％以下 酢酸/測定値±0.3％以下 弗酸/測定値±0.4％以下 制御対象数 最大3ライン制御可能 データ表示器 カラーLCD（濃度） データ出力 4～20mＡ（３点）

薬液計量補給部

ポンプ制御方式 パルス制御方式 計量ポンプ形式 ダイヤフラム型 計量制御範囲 0～300ml/min サンプル循環 ポンプ形式 マグネットポンプ 計量ポンプ搭載数 3台 サンプル循環 ポンプ搭載数 １台

試薬格納部

格納対象 測定試薬 格納方式 光監視