濃度測定装置、自動制御、診断制御装置など各種生産ライン装置の開発、提案

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装置一覧

• ＴＭＡＨ液濃度高精度測定制御装置（薬液供給設備用）
• ＴＭＡＨ系現像液の再生及び濃度測定制御装置
• Ｎａ２ＳｉＯ３系現像液中の遊離Ｎａ２ＳｉＯ３及びＰＲ濃度測定制御装置
• ＫＯＨ液濃度高精度測定制御装置（薬液供給設備用）
• ＮaOH液濃度高精度測定制御装置（薬液供給設備用）
• アルミエッチング液濃度高精度測定制御装置（薬液供給設備用）
• クロムエッチング液濃度高精度測定制御装置（薬液供給設備用）
• ＴＭＡＨ液中の遊離ＴＭＡＨ濃度測定制御装置
• ＫＯＨ系現像液中のＫＯＨ、ＰＲ濃度測定制御装置
• アルミエッチング液遊離硝酸／遊離酢酸／遊離燐酸濃度測定制御装置
• 銀エッチング液遊離硝酸／遊離酢酸／遊離燐酸濃度測定制御装置
• 銅エッチング液遊離硝酸／遊離酢酸／遊離燐酸濃度測定制御装置
• Ｔｉエッチング液遊離硝酸／遊離酢酸／遊離燐酸濃度測定制御装置
• 蓚酸系ＩＴＯエッチング液濃度測定制御装置
• 王水系ＩＴＯエッチング液濃度測定制御装置
• 塩化第２鉄系ＩＴＯエッチング液濃度測定制御装置
• 硝酸系クロムエッチング液濃度測定制御装置
• 過塩素酸系クロムエッチング液濃度測定制御装置
• 剥離液中の遊離ＭＥＡ水・ＰＲ濃度測定制御装置
• ＢＨＦエッチング液中の遊離弗酸／弗化アンモニウム濃度測定制御装置
• シリコンウエハーエッチング液中の遊離硝酸／遊離酢酸／遊離弗酸／ヘキサフルオロ珪酸濃度測定制御装置
• ニッケル無電解鍍金液濃度測定制御装置
• アルミ箔エッチング液中の遊離硫酸・遊離塩酸濃度測定制御装置