浓度测定控制装置、自动控制、诊断控制装置等各种生产Line装置的研发、提案

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SEEDA-AL

适用领域

本装置通过对蚀刻液中的硝酸/醋酸/磷酸浓度进行高精度的实时测量，并对蚀刻反应的有效成分游离硝酸及游离醋酸按测量浓度进行定量补给，从而实现大幅消减药液用量，保证蚀刻加工品质的效果。

浓度测定控制部

控制方式 CPU控制方式 测定方式 特殊中和滴定法 测定范围 硝酸/0～20％ 醋酸/0～40％ 磷酸/0～80％ 最短测定周期 15min/3成分测定 测定精度 硝酸/测定值±0.1％以下 醋酸/测定值±0.3％以下 磷酸/测定值±0.4％以下 控制对象数 最大3Line控制可能 显示器 彩色液晶触摸屏 数据输出 4～20mA(3点)

药液计量补给部

泵控制方式 变频器控制 计量泵形式 防腐隔膜型 计量泵材质 PTFE 计量控制范围 0～300ml/min 样液循环泵形式 磁力泵型 循环泵材质 接口部/PTFE 计量泵搭载数 ２台 样液循环泵搭载数 １台

试剂格纳部

格纳物 测定试剂 液位监视方式 光学式液位传感器