浓度测定控制装置、自动控制、诊断控制装置等各种生产Line装置的研发、提案
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SEEDA-ITO
SEEDA-ITO
适用领域
本装置通过测量氯化铁系ITO蚀刻液中的游离盐酸与铁浓度,并将游离盐酸与铁浓度控制在设定的浓度值范围内,从而大幅削减蚀刻液用量,保证加工品质。此外,也适用于草酸系,王水系蚀刻液的浓度测定。
王水系
浓度测定原理
中和滴定法测定方式
装置型式
SEEDA-ITO
测定成分名
盐酸/硝酸
测定范围
盐酸/0~30.00wt%(可变更)
硝酸/0~10.00wt%(可变更)
测定精度
盐酸/测定值±0.20wt%以下
硝酸/测定值±0.10%以下
补给控制药液
高浓度盐酸/硝酸
盐铁系
检出器
电位差检出器
装置型式
SEEDA-ITO
测定成分名
游离盐酸/三价氯化铁
测定范围
游离盐酸 0~30.00wt%(可变更)
三价氯化铁 0~50.00wt%(可变更)
测定精度
游离盐酸 测定值±0.05wt%以下
三价氯化铁 测定值±0.20%以下
补给控制药液
高浓度盐酸
草酸系
検出器
高感度导电度计
装置型式
SEEDA-ITO
测定范围
0~5.00wt%(可变更)
测定精度
3.40wt%±0.05wt%以下
装置流程
系统流程图
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