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液晶/半導体/その他電子部品生産ライン

SEEDA-CE

适用领域

本装置使用置换滴定法与氧化还原滴定法分别测量铬蚀刻液中的游离硝酸浓度与四价铈浓度,并将硝酸与四价铈浓度控制在设定的浓度值范围内,从而大幅消减蚀刻液用量,保证加工品质。

浓度测定控制部

          
控制方式 CPU控制方式
测定方式 置换滴定法・酸化还远滴定法
测定范围NHO3:0~30 wt%
HClO4:0~30 wt%
(NH4)2Ce(NO3)6:0~30 wt%
最短测定周期 12min/3成分测定
测定精度 NHO3:测定值±0.1wt%以下
HClO4:测定值±0.1wt%以下
(NH4)2Ce(NO3)6:测定值±0.1wt%以下
控制对象数 最大2Line控制可能
显示器 彩色液晶触摸屏(浓度走势显示)
数据通讯 存储卡或RS232C通讯

药液计量补给部

SEEDA-CE
泵控制方式 变频器控制
计量泵形式 防腐隔膜型
计量泵材质 接液部/PTFE
计量控制范围 0~300ml/min
样液循环泵形式 磁力泵型
循环泵材质 接口部/PTFE
计量泵搭载数 2台
样液循环泵搭载数 1台

试剂格纳部

SEEDA-CE
格纳物 测定试剂

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