浓度测定控制装置、自动控制、诊断控制装置等各种生产Line装置的研发、提案

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装置便览

• ＴＭＡＨ液浓度高精度测定控制装置（药液供给设备用）
• ＴＭＡＨ系显影液再生及浓度测定控制装置
• Ｎａ２ＳｉＯ３系现象液中的游离Ｎａ２ＳｉＯ３及ＰＲ浓度测定控制装置
• ＫＯＨ液浓度高精度测定控制装置（药液供给设备用）
• ＮaＯＨ液浓度高精度测定控制装置（药液供给设备用）
• 铝蚀刻液浓度高精度测定控制装置（药液供给设备用）
• 铬蚀刻液浓度高精度测定控制装置（药液供给设备用）
• ＴＭＡＨ液中的游离ＴＭＡＨ浓度测定控制装置
• ＫＯＨ系现象液中的ＫＯＨ、ＰＲ浓度测定控制装置
• 铝蚀刻液游离硝酸／游离醋酸／游离磷酸浓度测定控制装置
• 银蚀刻液游离硝酸／游离醋酸／游离磷酸浓度测定控制装置
• 铜蚀刻液游离硝酸／游离醋酸／游离磷酸浓度测定控制装置
• Ｔｉ蚀刻液游离硝酸／游离醋酸／游离磷酸浓度测定控制装置
• 草酸系ＩＴＯ蚀刻液浓度测定控制装置
• 王水系ＩＴＯ蚀刻液浓度测定控制装置
• 三价氯化铁系ＩＴＯ蚀刻液浓度测定控制装置
• 硝酸系铬蚀刻液浓度测定控制装置
• 高氯气酸系铬蚀刻液浓度测定控制装置
• 剥离液中游离ＭＥＡ水・ＰＲ浓度测定控制装置
• ＢＨＦ蚀刻液中的游离氟酸／氟化铵浓度测定控制装置
• 硅晶片蚀刻液中的游离硝酸／游离醋酸／游离氟酸／氟硅酸浓度测定控制装置
• 无电解镍电镀金液浓度测定控制装置
• 铝箔蚀刻液中的游离硫酸・游离盐酸浓度测定控制装置